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全自动ACCRETECH东京精密红外激光切割机
产品简介

全自动 ML3200 ACCRETECH东京精密红外激光切割机
全自动ACCRETECH东京精密红外激光切割机
该设备配备红外激光引擎,将激光束聚焦于硅片内部,形成激光加工区域,并在扩展过程中将硅片分割成芯片。
装载机的规格可根据客户使用的加工工艺进行选择。

产品型号:ML3200
更新时间:2025-05-09
厂商性质:代理商
访问量:68
详细介绍
品牌ACCRETECH/东京精密价格区间面议
仪器种类精密切割机产地类别进口
应用领域化工,建材/家具,电子/电池,电气,综合

全自动ACCRETECH东京精密红外激光切割机

全自动ACCRETECH东京精密红外激光切割机

可进行非接触式切割,且不会损伤硅晶圆表面。
支持干式工艺,非常适合处理MEMS器件等不耐加工负荷和水分的器件。
通过根据硅晶圆厚度调整加工扫描次数,可支持从薄到厚的广泛厚度范围。

通过提高成品率大幅降低成本
缩小划线宽度有助于大幅提高成品率并降低成本。
以晶圆尺寸为φ200mm、芯片尺寸为1.0mm的小型芯片器件为例,通过将划线宽度从90μm设计为20μm,芯片成品率可提高20%以上。

提高生产效率(吞吐量)
采用高刚性平台,通过高输出激光组合,可实现800mm/秒以上的高速切割。

丰富的可选设置
与处理质量和生产率相关的可选功能种类繁多,例如设备内部清洁(100 级)规格和晶圆厚度测量功能。

干式工艺非常适合切割不耐水的MEMS器件等。
通过缩小切割道宽度,可以提高成品率,从而降低成本。

以存储器件为代表的超薄切割领域取得了众多业绩,
可实现低损伤、高弯曲强度、高速切割。

最大晶圆尺寸φ300毫米
处理方法

晶圆处理

X轴发送速度输入范围

0.1至2,100毫米/秒

Y轴解决0.0002 毫米
定位精度

0.002mm/310mm以内

规格尺寸(宽 x 深 x 高) 1,712 毫米 × 2,960 毫米 × 1,800 毫米
重量3,000公斤



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