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品牌 | ACCRETECH/东京精密 | 价格区间 | 面议 |
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仪器种类 | 精密切割机 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 化工,建材/家具,电子/电池,电气,综合 |
全自动ACCRETECH东京精密红外激光切割机
全自动ACCRETECH东京精密红外激光切割机
可进行非接触式切割,且不会损伤硅晶圆表面。
支持干式工艺,非常适合处理MEMS器件等不耐加工负荷和水分的器件。
通过根据硅晶圆厚度调整加工扫描次数,可支持从薄到厚的广泛厚度范围。
通过提高成品率大幅降低成本
缩小划线宽度有助于大幅提高成品率并降低成本。
以晶圆尺寸为φ200mm、芯片尺寸为1.0mm的小型芯片器件为例,通过将划线宽度从90μm设计为20μm,芯片成品率可提高20%以上。
提高生产效率(吞吐量)
采用高刚性平台,通过高输出激光组合,可实现800mm/秒以上的高速切割。
丰富的可选设置
与处理质量和生产率相关的可选功能种类繁多,例如设备内部清洁(100 级)规格和晶圆厚度测量功能。
干式工艺非常适合切割不耐水的MEMS器件等。
通过缩小切割道宽度,可以提高成品率,从而降低成本。
以存储器件为代表的超薄切割领域取得了众多业绩,
可实现低损伤、高弯曲强度、高速切割。
最大晶圆尺寸 | φ200毫米 | |||||||||||||||||||||||||||||
处理方法 | 帧处理 | |||||||||||||||||||||||||||||
X轴 | 发送速度输入范围 | 0.1至1,100毫米/秒 | ||||||||||||||||||||||||||||
Y轴 | 解决 | 0.0002 毫米 | ||||||||||||||||||||||||||||
定位精度 | 0.002毫米/210毫米以内 | |||||||||||||||||||||||||||||
规格 | 尺寸(宽 x 深 x 高) | 1,640毫米×1,340毫米×1,800毫米 | ||||||||||||||||||||||||||||
重量 | 2,000 公斤 |
173-7597-1654