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2025-04-252025-04-172025-06-202025-07-21| 品牌 | ACCRETECH/东京精密 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 精密切割机 | 产地类别 | 进口 |
| 应用领域 | 化工,建材/家具,电子/电池,电气,综合 |
全自动ACCRETECH东京精密紫外激光切割机
全自动ACCRETECH东京精密紫外激光切割机
新型的激光引擎机构，兼顾高质量加工和高生产效率。
传统的激光开槽工艺难以兼顾高质量加工和高生产效率，两者之间存在着一种“权衡"关系。
通过新型的激光引擎机构+高刚性平台的组合，我们提供了一种高质量、高生产效率的激光开槽工艺，解决了两者之间的“权衡"问题。
φ300mm晶圆对应全自动激光开槽机
自动支持从水溶性保护膜分配到激光切割、清洗的一系列工序。
支持激光开槽工艺。
光学设计非常适合低k分组和从街道上方去除TEG。
加工变形和热损伤被控制在较低限度，并形成稳定的加工槽。
操作性：
采用17英寸触摸屏+GUI（图形用户界面）。
只需轻触图标化的按钮，即可轻松便捷地进行操作。
搭载与AD/SS系列通用的操作系统，操作简便。
| 型号名称 | AL3000 | |
| 处理方法 | 消融 | |
| 激光振荡器 | 半导体激光器激发Q开关固体激光器 | |
| 波长 | 355纳米 | |
| 最大工件尺寸 | φ305毫米 | |
| 切割行程 | 310毫米 x 310毫米 | |
| X轴 | 最大移动速度 | 1,000 毫米/秒 |
| Y轴 | 最大移动速度 | 300毫米/秒 |
| 定位精度 | 0.078 微米 | |
| Z轴 | 最大移动速度 | 10毫米/秒 |
| 重复精度 | 1.0 微米 | |
| θ轴 | 最大旋转角度 | 380.0 度 |
| 电源 | 三相200～220VAC±10% |
| 功耗 | 2.0 kVA（参考值） |
| 供气压力 | 0.5～0.7MPa |
| 平均空气消耗量 | 400升/分钟 |
| N2供给压力 | 0.3～0.5MPa |
| N2平均消耗量 | 30升/分钟 |
| DI水供水压力 | 0.3～0.5MPa |
| 最大去离子水消耗流量 | 6.0升/分钟 |
| 排气 | 4.0立方米/分钟以上 |
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米 |
| 机器重量 | 2,500公斤 |
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