Yamato雅马拓等离子干洗机PDC510
PDC510
紧凑型设计，是研发的理想之选
产品特性
配备 RIE 模式和 DP 模式（PDC510 标配，PDC200/210 可选）。
产品特性
触摸面板系统操作简便，数据采集也很简单。
目的
●CSP、BGA、COB基板的等离子体处理
●去除有机薄膜和金属氧化物薄膜
●印刷电路板的干洗
●表面活化处理
●LED组装
规格
| 产品代码 | 215054 |
|---|---|
| 模型 | PDC510 |
| 等离子模式 | RIE/DP |
| 电极结构 | 平行板（固定在电极之间） |
| 高频输出 | 最大功率 500 瓦 |
| 振荡频率 | 13.56MHz晶体振荡器 |
| 控制和显示（仪器） | LCD触摸面板 |
| 舞台尺寸 | 宽度 400 x 深度 200 毫米 |
| 腔室材料 | 铝 |
| 反应气体 | 2 个系统（氩气，氧气） |
| 吹扫气体 | 氮气或干燥空气 |
| 反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
| 真空泵 | 标配旋转真空泵（约 500 升/分钟）。 |
| 气体入口 | 2 种反应性气体，1 股吹扫气 |
| 内部尺寸（宽 x 深 x 高） | 500×300×200毫米 |
| 外部尺寸（宽 x 深 x 高） | 700×700×1285毫米 |
| 功率容量 | 三相交流200V 8A 断路器容量和电源容量16A。不含电源插头。 |
| 重量 | 180公斤 |
