Yamato雅马拓等离子反应堆PR500
产品概述
等离子反应器（PR500（流量计规格））的特点
产品特性
配备大直径（φ215mm）石英腔室
产品特性
易于操作的触摸面板系统（PR510）
规格
| 产品代码 | 215007 |
|---|---|
| 模型 | PR500（流量计规格） |
| 方法 | DP枪管类型 |
| 控制单元高频输出 | 功率 500 瓦 |
| 控制单元振荡频率 | 13.56MHz |
| 控制单元同步方法 | 自动调校 |
| 反应段反应罐 | 由石英制成，直径215毫米，厚度305毫米。 |
| 反应段反应气体系统 | 2 个系统（O 2 /CF 4） |
| 反应段控制系统 | 手动的 |
| 反应段管道材料 | SUS，特氟龙 |
| 内部尺寸（直径 x 深度） | φ215×305mm |
| 外部尺寸（宽 x 深 x 高） | 438×520×760毫米 |
| 功率容量 | AC100V 9A 断路器容量和15A电源容量 |
| 重量 | 60公斤 |
