一、型号释义
EV-S20：基础机型，20 = 标称抽速 2000L/min
N：镍合金防腐 + 内置氮气吹扫 N₂（P = 仅氮气吹扫、普通材质），适配含腐蚀性工艺气体
二、关键参数
表格
| 项目 | EV-S20N 参数 |
|---|---|
| 抽气速率 | 2000 L/min（33.3L/s） |
| 极限真空 | ≈0.5Pa |
| 电机功率 | 约 2.2kW 直流变频电机（50/60Hz 通用） |
| 冷却方式 | 水冷，冷却水 1.5~3L/min、水温≤30℃ |
| 供电 | 200~220V 三相 |
| 结构 | 多级罗茨无油干式、全镍合金过流腔体 |
三、产品特点
节能变频：可调转速 + 休眠怠速模式，同规格功耗行业偏低；
防腐配置：N 型镍合金腔体 + 自带氮气吹扫，耐酸碱、蚀刻废气；
智能控制：自带 LCD 可编程面板、故障报警 + 运行数据存储；
合规标准：SEMI-S2、CE、NRTL，半导体原厂标配规格。
四、应用场景
半导体 Loadlock 预抽、晶圆蚀刻 / 镀膜、LED、光伏镀膜、实验室真空腔体、真空脱泡、小型镀膜机、腐蚀性气体工况抽真空。
