EBARA 荏原 EV-X100N 干式无油螺杆真空泵（日本原装）
一、核心参数
标称抽气量：10000 L/min（10m³/min）
极限真空：0.5Pa（干泵空载）
电源：三相 200～220V 50/60Hz
空载功耗：0.9～1.5kW，相比旧机型节能 25%~50%
泵结构：多级螺杆干式泵，无油无水、空冷，不用冷却水、无润滑油污染腔体
二、系列同型号对照（EV-X 全系）
表格
| 型号 | 抽速 | 极限真空 |
|---|---|---|
| EV-X30N | 3000L/min | 0.5Pa |
| EV-X100N | 10000L/min | 0.5Pa |
| EV-X200N | 20000L/min | 0.5Pa |
| EV-X300N | 30000L/min | 0.5Pa |
三、产品特点
小型紧凑：占地面积比同级干泵小约 30%，便于 Subfab 设备间紧凑布局
耐水汽、耐微量腐蚀：可抽含水蒸气、轻微腐蚀性工艺气体，可选氮气吹扫防腐配置
免日常换油：干式无油结构，维护成本低、寿命长、低噪音低震动
单泵可直抽高真空：无需前级泵，独立满足中高真空制程
四、适用行业
半导体（蚀刻 / CVD/PECVD）、光伏电池、锂电真空脱气、精密镀膜、制药冻干、化工蒸馏等高洁净真空工况。
