OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG60F
TG60F柔性姿态复合分子泵的特点
自由安装位置
小巧尺寸
节能
快速启动
快速停止排气
能抵抗大气冲击
高压缩比
集成控制器
安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE（*仅限TG60F-20）
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理、表面改性
制造各种电子元件
分析和测试设备
管材制造、光学元件制造
加速器、辐射设施和核聚变研究
热处理
研究与开发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
| 控制器模型 | TC66 |
| 输入电压（ACV） | 100-230 |
| 输入频率（赫兹） | 50/60 |
| 输入相位数 | 单相 |
| 最大功率需求（VA） | 240 |
| 输出频率（赫兹） | 1150 |
| 质量（千克） | 2.4 |
| 标准配件 | 输入接口：1个； 远程接口：1个； 使用说明书：1份 |
| 适用泵型号 | TG60F-20 |
