ULVAC爱发科涡旋式干泵DIS-501
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
特点
结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。。
通过空气冲洗抑制水分凝结。。
用途
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
规格
| Unit50Hz60Hz设计排气速度度※1L/min500600极限压力Pa1.0使用电动机※2单相 100/115/200/230V, 600W, 4P , 电容器启动・運転三相200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P全负荷电流单相A8.5/4.3/3.9(100/200/230V)10.0/8.6/4.8/4.0(100/115/200/230V)三相2.7/1.57/1.57/1.63(200/380/400/415V)2.8/2.6/2.5/1.47(200/208/230/460V)重量单相kg44.0三相38.0吸气口径 KF-40排气口径 KF-25使用环境温度范围℃5～40水蒸气处理量g/day≦25以下（AF开时※3, 室温25℃, 湿度60％以下）噪音水平单相dB≦62（AF開時※3, ≦70）三相≦60（AF開時※3, ≦68）最大尺寸单相mm290(W)×443(L)×397(H)三相292(W)×372(L)×397(H) |
※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。
