适用行业 & 工艺
半导体 / 光伏 / 化工核心工艺：LPCVD、PECVD、ALD、MOCVD、RTP 热处理、腐蚀性粉体制程、含化学副产物负压工况
同系列：EST25N、EST100WN、EST200WN、EST300WN、EST500WN、EST800WN（大抽速机型）
产品优势
干式无油结构，无油污染，适配半导体洁净制程
泵体可加温，防止反应物冷凝结块堵泵
变频调速，负载自适应、能耗低、符合 SEMI-S2/CE 认证
同系列：EST25N、EST100WN、EST200WN、EST300WN、EST500WN、EST800WN（大抽速机型）
干式无油结构，无油污染，适配半导体洁净制程
泵体可加温，防止反应物冷凝结块堵泵
变频调速，负载自适应、能耗低、符合 SEMI-S2/CE 认证
