一、基础型号释义
EV-M：重载水冷多级罗茨干式干泵系列（主打强腐蚀、高粉尘半导体工艺）
20：机型规格
N：镍基标准防腐型（标配耐卤素酸性气体；SF = 特氟龙超强防腐款、P = 氮气吹扫定制）
二、核心技术参数
表格
| 项目 | EV-M20N 参数 |
|---|---|
| 抽气速率 (50/60Hz) | 1800 L/min（50/60Hz 抽速一致） |
| 极限真空 | 5 Pa |
| 进气法兰 | NW40(KF40) |
| 排气法兰 | NW40 |
| 电机额定功率 | 1.5kW，极限工况耗电 1.2kW |
| 整机净重 | 170kg |
| 冷却方式 | 全水冷标配 + 泵腔伴热温控（防副产物结晶附着） |
| 电源规格 | 三相 380V，电源容量 3.3kVA |
三、产品特性
全无油干式结构：转子无接触运转，无润滑油污染真空腔体，满足半导体洁净制程
防腐标配：泵腔、转子标准耐蚀镍合金，适配 HF、Cl₂等蚀刻腐蚀性尾气
高温控温：内置分区伴热，防止工艺粉尘、凝华物堵泵，适配 CVD / 刻蚀高副产物工况
合规认证：SEMI-S2、CE、NRTL 半导体设备安全认证，原厂日本荏原制作所生产
四、适用行业
半导体：小型刻蚀机、ALD、PVD、MOCVD、晶圆负载锁前级真空
光伏 / 面板：薄膜沉积、等离子制程
实验室：高腐蚀真空腔体、精密镀膜、真空烧结
五、同系列区分
EV-S：风冷轻载洁净干泵（无防腐、普通洁净工况）
EV-X：螺杆中载干泵（通用普通蚀刻）
EV-M：水冷重载（EV-M20N 起，全防腐、重腐蚀量产主力）
