一、型号释义
EV-S200N：日本荏原 EBARA 多级罗茨无油干泵
200：机型规格，标称抽速 20000L/min
N=Nickel 镍合金腔体 + 内置氮气吹扫（防腐款）；同系列 P 仅带氮吹、普通材质
全系列无油干式、水冷、直流变频电机
二、关键技术参数
表格
| 项目 | EV-S200N 参数 |
|---|---|
| 抽气速率 | 20000 L/min（333L/s） |
| 极限真空 | ≤0.5Pa |
| 额定功率 | 15kW |
| 供电 | 200~220V 50/60Hz 宽频 |
| 冷却 | 水冷，冷却水流量约 12L/min |
| 控制 | 机身 LCD 可编程控制器、故障存储、预警功能 |
| 材质 | 泵腔镍合金 + 氮气吹扫，耐酸碱腐蚀性工艺气体 |
三、产品优势
节能：变频怠速休眠，同级别功耗偏低，适配半导体间歇工艺
紧凑体积：占地小，晶圆设备机台内置常用
全防护：N 款镍腔体 + N₂吹扫，适配含卤素、酸性气体制程
合规：SEMI-S2、CE、NRTL 半导体行业标准
四、主流应用场景
半导体：刻蚀机、PVD/CVD 镀膜、Loadlock 晶圆传片腔体
光电：LED、光伏镀膜、OLED 制程
科研：SEM/TEM 电镜、真空腔体、镀膜机
锂电：极片真空烘烤、注液脱气
五、同系列区分
EV-S200：基础普通款（无氮吹、碳钢）
EV-S200P：普通腔体 + 氮气吹扫
EV-S200N：镍合金腔体 + 氮气吹扫（防腐首选）
