CR300B ULVAC爱发科多级罗茨型干泵：无油洁净真空的工业核心

在半导体制造、平板显示、真空镀膜等制造领域，获得清洁、稳定、可靠的真空环境是确保工艺品质的基础前提。传统的油封式真空泵存在油蒸汽返流污染腔室的风险，而随着环保法规日趋严格和工艺要求不断提升，无油干式真空泵已成为行业主流选择。日本ULVAC（爱发科）推出的CR300B多级罗茨型干泵，以其风冷设计、无油运行和的极限真空性能，为中大型真空设备提供了高效可靠的真空获得解决方案。

核心技术：多级罗茨结构与无油非接触设计

CR300B属于ULVAC CR系列干式真空泵的Ver.B版本，是一款获得国际标准（CE、cTUVus）认证的风冷罗茨型干泵。其核心技术在于多级罗茨转子结构与无油的排气室设计。

多级罗茨串联压缩：CR300B采用多级罗茨转子串联的结构，各级转子在气缸内同步反向旋转，通过精确控制的间隙实现非接触式运转。气体在流经各级压缩腔时被逐步压缩，最终排向大气。这种设计既保证了高压缩比，又避免了机械接触带来的磨损和润滑需求。

无油排气室：泵头内部不使用真空油，转子与气缸之间实现无接触运转。这意味着整个排气过程无油参与，消除了油蒸汽向真空腔室的返流污染，确保了获得洁净真空，同时显著延长了泵的稳定运行寿命。

DC密封电机技术：CR300B配备了DC密封电机，实现了节能、气密性和轻量化的多重优势。电机的密封结构有效防止了外部泄漏，同时降低了功耗，符合现代工业对节能环保的要求。

产品特性：风冷节能与智能扩展

CR300B的设计充分考虑了工业应用的运行经济性与环境适应性，在冷却方式、功耗控制和功能扩展方面均有突出表现。

风冷设计，零水耗运行：CR300B采用风冷冷却方式，无需冷却水和氮气。这一设计不仅简化了安装条件，更大幅降低了日常运行成本，尤其适合缺水地区或希望降低公用设施投入的用户。

气镇机构实现水蒸气抽除：泵体配备气镇机构（Gas Ballast，选配件），通过引入适量干燥气体，可有效防止水蒸气在泵内凝结，从而实现水蒸气的抽除。使用气镇时，CR300B的大水蒸气处理量可达500g/h，适用于真空干燥等需要抽除大量水蒸气的工艺场景。

低功耗与轻量化：CR300B电机额定功率为3.0kW，整机重量100kg，在同类产品中实现了较好的功率重量比。轻量化设计降低了安装和维护难度，而低功耗则为长期连续运行节约了可观的电费成本。

完善的附件选项：为适应不同应用场景，CR300B提供丰富的选配件，包括针阀式或电磁阀+针阀式气镇机构、消音器（RS-01+套件C）、简易消音器（EFS-19-NW40/1）以及电源互换BOX等，用户可根据实际需要进行配置。

技术规格与性能参数

CR300B作为CR系列中的中大流量机型，其核心性能参数如下表所示：

工作原理与工作流程

CR300B的工作原理基于多级罗茨转子对气体的捕获、压缩和排出。当电机驱动各级转子同步反向旋转时，转子和气缸之间形成周期性变化的容积腔。气体从吸气口被吸入一级压缩腔，随着转子转动，气体被逐级输送到后续压缩腔，每经过一级，气体体积被压缩、压力升高，最终从排气口排向大气。

整个过程中，转子和气缸之间保持微米级间隙，无机械接触，因此无需润滑油参与密封和润滑。这种非接触式运转不仅保证了气体的洁净度，也大幅降低了机械磨损和发热。

当需要抽除水蒸气时，用户可开启气镇阀，向压缩腔内注入适量干燥气体，以降低水蒸气的分压，防止其在低于露点时凝结，从而确保水蒸气被顺利排出泵外。

广泛的应用领域

CR300B凭借其洁净无油、高极限真空和风冷节能的特性，在多个高制造和科研领域发挥着核心作用。

• 半导体与电子器件制造：用于溅射设备、蒸镀设备、刻蚀设备等工艺腔室的真空排气。洁净无油的环境确保晶圆和器件不受碳氢化合物污染，保障产品良率。

• 真空镀膜与表面处理：适用于光学镀膜、装饰镀膜、工具镀膜等各类真空镀膜机的粗抽及维持真空，为制备高质量薄膜提供清洁的真空基础。

• 真空干燥与冷冻干燥：在制药、食品、生物制品等领域的真空干燥设备中，CR300B可配合气镇机构高效抽除大量水蒸气，显著缩短干燥时间，提高生产效率。

• 科研与通用真空设备：作为各类真空系统的前级泵或维持泵，用于抽取空气、惰性气体等洁净气体，广泛应用于材料科学、表面物理、空间模拟等研究领域。

结语

日本ULVAC爱发科CR300B多级罗茨型干泵，是一款将多级罗茨压缩技术与无油设计深度融合的真空获得设备。它以300 m³/h的大抽速、≤0.5 Pa的高极限真空和风冷零水耗的运行特性，为半导体、镀膜、干燥等领域提供了清洁可靠的真空动力。非接触式转子运转确保了长期稳定的使用寿命，DC密封电机实现了节能与轻量化的平衡，而气镇机构的可选配置则赋予其处理水蒸气的灵活能力。在现代工业对真空环境洁净度与运行经济性要求日益提升的背景下，CR300B以其扎实的性能和可靠的品质，成为中大规模真空系统的理想选择。