RDA-281H：多级罗茨干泵，为精密工业输送纯净的“真空”脉搏

更新时间：2026-02-03

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在半导体芯片微观世界的蚀刻与沉积中，在科研实验室分析仪器的稳定运行里，甚至在你手中智能手机屏幕镀膜的生产线上，都有一个共同的、至关重要的需求：一个洁净、高效且可靠的真空环境。传统油封真空泵在带来动力的同时，也带来了油蒸气污染的风险，这已成为制约高精尖产业发展的瓶颈之一。

日本爱发科（ULVAC）推出的RDA-281H多级罗茨型干式真空泵，正是为打破这一瓶颈而生。它摒弃了传统的油介质，凭借其独特的“无油"六阶罗茨式工作原理，不仅在性能上比肩甚至超越了传统油泵，更为现代工业提供了一颗持久、纯净且智能的“真空心脏"。

产品定位：定义紧凑型洁净真空的新标准

RDA-281H隶属于ULVAC的多级罗茨干式真空泵RDA系列。其核心设计目标非常明确：在无需任何工作液（油或水）的前提下，实现从大气压到高真空的全程高效抽气，确保被抽空间洁净，杜绝油蒸气返流污染。

它平衡了“大排气量"与“小型尺寸"。在仅相当于一个中型工具箱的体积内（最小尺寸为宽180mm × 长520mm × 高377mm），集成了强大的抽气能力，有效排气速度高达280升/分钟。这种紧凑高效的设计，使其能轻松集成到空间受限的精密设备内部，如分析仪器、镀膜机台或半导体工艺模组中。

核心技术：六阶罗茨与无接触运动的精密协奏

RDA-281H的性能，根植于其精密的机械设计。它并非简单的单级结构，而是采用了六级串联的罗茨泵芯设计。每一级都包含一对经过精密动平衡校正的三叶转子。当电机驱动这两根平行转子同步反向高速旋转时，它们之间以及它们与泵腔之间始终保持微米级的间隙，没有任何金属接触。

这种“无接触"运行模式带来了革命性的优势：消除了因摩擦产生的磨屑和热量，这是实现长寿命和免维护运行的根本。气体被逐级压缩，每一级承担一部分压缩比，最终平缓地将气体从大气压推向高真空。这种多级设计不仅降低了单级的负荷和温升，还显著提升了泵对水蒸气等可凝性气体的处理能力。其大水分吸引量可达300克/小时，意味着即使在潮湿的工艺环境中也能稳定运行。

核心性能：干式洁净与宽域运行的全面优势

基于其核心技术，RDA-281H展现出一系列超越传统油泵的性能，可以概括为以下三大支柱：

洁净，杜绝污染：这是其最核心的价值。泵腔内没有任何润滑油，从根源上杜绝了油蒸气、油雾或油分子对真空腔室和工艺产品的污染风险。这对于半导体制造、光学镀膜、精密分析等领域是的保证。
宽域运行，一泵到底：RDA-281H具备从大气压（101325 Pa）直接启动并一直抽到其极限压力（在关闭吹扫气“F.A"时可达8.0×10⁻² Pa）的能力。这意味着在许多应用中，它可以作为独立的主泵使用，无需配备复杂且昂贵的粗抽泵组，简化了系统，提高了可靠性。
坚固耐用，经济高效：“无滑动部件"的设计赋予了其极长的使用寿命和近乎免维护的特性。同时，它无需连接冷却水系统，仅依靠气冷和自然散热，极大地降低了安装复杂度和运行能耗。此外，单台RDA-281H即可灵活适配主流的单相（100-115V/200-240V）或三相（200-240V）电源，适应性强

为了方便您更直观地了解RDA-281H在同类产品中的定位，下表将其与几种主流真空泵技术的关键特性进行了对比：

特性维度	RDA-281H 多级罗茨干泵	传统油封旋片泵	涡旋式干泵	隔膜式干泵
工作介质	干式（无油）	需要真空油	干式（无油）	干式（无油）
洁净度	高，无任何油污染	存在油蒸气和返油风险	高，无油污染	高，无油污染
极限压力	高（≤8.0×10⁻² Pa）	高（可达10⁻² Pa量级）	高（可达10⁻¹ Pa量级）	较低（通常>1 Pa）
抽气速度	大（280 L/min），紧凑体积下效率高	中等，同尺寸下可能较低	中等	小
耐水蒸气能力	强（≤300 g/h）	弱，需频繁开启气镇阀，导致油劣化	一般	弱
维护需求	极低，无摩擦损耗	高，需定期换油、清理油垢	中等，涡盘磨损后需更换	低，隔膜需定期更换
典型应用	半导体工艺、分析仪器、镀膜、气体回收	粗抽、对洁净度要求不高的工业应用	实验室、小型仪器粗抽与前级	小型实验室仪器、采样

应用场景：驱动高精尖产业的隐形力量

凭借其洁净、可靠和灵活的特性，RDA-281H已成为多个前沿领域的真空解决方案：

半导体与平板显示制造：在薄膜沉积（CVD，PVD）、刻蚀、离子注入等关键工序中，作为工艺腔室的主泵或输送泵，提供无烃污染的纯净真空环境，直接关系到芯片的良率和性能。
分析仪器：作为质谱仪、电子显微镜、能谱仪等高分析设备的核心部件，其稳定的真空背景是获得精准数据的基石。
真空镀膜：在光学镜头、消费电子盖板、装饰镀膜等生产线中，确保膜层纯净、附着牢固、色彩均匀。
辅助系统：作为涡轮分子泵的理想前级泵（Backing Pump），或应用于氦气检漏仪、特种气体回收系统等，提供可靠的后备支持。

总结：不止于一台泵，更是产业升级的基石

ULVAC RDA-281H多级罗茨型干式真空泵，不仅仅是一个功能强大的工业部件。它是清洁真空技术理念的实体化，是精密制造业向更高纯度、更优工艺迈进的基础设施。它将复杂的真空获取过程，浓缩进一个紧凑、安静、几乎无需照看的金属箱体中。

在追求纳米级精度和原子级纯净的今天，RDA-281H所代表的干式真空技术，正在重新定义“可靠"与“洁净"的标准。它不仅是排除气体的工具，更是为下一代科技创新保驾护航、开辟空间的赋能者。随着半导体、新能源、新材料等产业的持续升级，这颗纯净的“真空心脏"，必将跳动在更多关乎未来的核心领域。