ULVAC爱发科隔膜型干泵：清洁真空环境的核心技术

更新时间：2025-11-20

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在半导体和电子设备制造领域，ULVAC爱发科隔膜型干泵以其清洁无油的独特优势，成为维持高纯度真空环境的关键技术。

在现代科技产业中，从芯片制造到医疗器械，许多精密工艺过程都离不开可靠的真空环境。隔膜型干泵作为获得清洁真空的关键设备，因其无油污染的特性，已成为半导体、电子器件等制造业的基础装备。

01 隔膜型干泵的工作原理：清洁排气的精密机械

隔膜型干泵，也称为膜片型干泵，是一种利用隔膜往复运动进行排气的机械真空泵。其核心设计在于实现了无油的气体输送，从根源上避免了油气对真空环境的污染。

核心驱动机制：当偏心轴（转子）旋转时，动力通过连杆传递至隔膜。这种精巧的机械设计将电机的旋转运动转化为隔膜的直线往复运动。

气体输送过程：随着隔膜上下反复运动，泵腔容积发生周期性变化。气体从进气口被吸入，然后被强制推向排气口，实现定向流动。

单向流动保证：泵的每个口都装有阀门结构，确保气体始终沿同一方向输送，防止倒流，从而形成稳定的真空环境。

与使用油类或其他工作液体的真空泵不同，隔膜型干泵在所有气体接触部位均未使用油类介质，保证了排气的清洁性，非常适用于对油蒸气零容忍的应用场景。

ULVAC爱发科提供多种型号的隔膜型干泵，根据结构和功能差异，主要可分为三大类：

一段式排气泵：具有两个并联的泵室以增加排量。代表性型号包括DAP-12S、DA-60S、DAT-100S等。这类泵型适用于需要较高排气速度的应用场景。

二段式排气泵：采用两个串联的泵室结构，提高压缩比，从而获得更佳的极限压力。主要型号有DAP-6D、DA-30D、DAT-50D等。二段式设计相比一段式具有更低的极限压力，能提供更好的真空度。

耐腐蚀规格泵：专门针对腐蚀性环境设计，所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料。DTC系列是其代表，如DTC-60、DTC-22K等型号，适合吸排有腐蚀性或有机溶剂气体。

不同型号的隔膜泵在抽速、极限压力、电机功率等参数上形成梯度，满足从基础研究到工业生产的各种需求。以DAP-6D为例，其抽气速率达6L/min（50Hz），马达功率为10W；而DTC-60的抽速可达60L/min，马达功率为100W。

隔膜型干泵凭借其清洁无油的特点，在多个行业发挥着关键作用：

半导体和电子器件制造业：在蚀刻设备、去胶设备、离子清洗设备等工艺环节的真空排气系统中。随着半导体制造业和电子设备工业的快速发展，对隔膜真空泵的需求也在增加。

工业自动化领域：广泛用于真空吸盘、薄膜吸附、自动化输送设备，提供可靠的吸附力，实现物料的精准搬运与定位。

医疗与食品行业：适用于医疗器械、真空镊子、冷冻干燥设备和真空干燥设备，满足这些行业对卫生和高洁净度的严格要求。

通用工业领域：在包装机械、印刷机械、光学机械等多种设备中提供稳定的真空源。

特殊工艺应用：同样适用于真空浓缩、过滤、脱气消泡等工艺环节，以及锂电池制造中的电极干燥设备、脱泡设备、注液设备。

隔膜型干泵在众多真空泵技术中脱颖而出，得益于其多方面的技术优势：

清洁无污染：不使用油或液体，消除了油蒸气对工艺过程或最终产品的污染风险，特别适合对洁净度要求高的应用。

维护简便：泵体结构采用无油环境设计，因此维护简单。简单的构造，便于维护与保养。

紧凑轻便：隔膜型干泵通常具有小型化特点，如DAP-6D尺寸仅为91(W) × 163(L) × 100.6(H) mm，方便集成到各种设备中。

安全可靠：产品内置自动复位型热保护器等安全设计，部分型号还配备过热保护器，确保长时间运行的稳定性。

耐腐蚀性能：针对特殊应用场景，耐腐蚀型号所有接触气体的部件全部采用PTFE与FPM材料，能够处理腐蚀性气体和有机溶剂。

能效优异：部分型号（如DAP-6D）功率仅10W，却在提供所需真空性能的同时保持低能耗，有助于降低运行成本。

随着科技产业的发展，隔膜型干泵面临新的机遇与挑战：

材料创新：通过开发新型耐腐蚀、耐磨损材料，进一步提高泵的使用寿命和可靠性，尤其是在处理腐蚀性介质的应用场景。

结构优化：爱发科已在模块化集成、多驱动腔部分非 coaxial 干式真空单泵等领域进行布局，旨在提高泵的效率和性能。

应用领域拓展：随着半导体制造业和电子设备工业的快速发展，对隔膜真空泵的需求也在增加，同时在新兴领域如锂电池制造也在不断拓展。

智能化集成：未来可能集成更多传感器和智能控制单元，实现状态监测和预测性维护，提升设备智能化水平。

从智能手机的芯片到医疗设备的精密部件，ULVAC爱发科隔膜型干泵在无数高科技产品的制造过程中扮演着的角色。随着科技不断进步，对清洁真空环境的需求只会日益增长，隔膜型干泵的技术革新将继续支撑着未来制造业的发展