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ULVAC爱发科的隔膜型干泵,凭借其无油清洁、结构紧凑及维护简便等特性,在多个对真空环境有苛刻要求的工业与科研领域发挥着重要作用。下面这个表格汇总了它的主要应用领域:
主要应用领域 | 具体应用场景举例 |
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🔬 半导体与电子制造 | 晶圆吸附装置、真空镊子、零件处理系统 |
🧪 分析仪器与实验室 | 分析仪器、科学实验装置、理化仪器、真空过滤、脱气消泡 |
🏥 医疗与制药设备 | 医疗器械、医疗机械、制药机械(如真空浓缩) |
📦 工业自动化与包装 | 自动包装机器、真空吸盘 |
🖨️ 特种工业设备 | 印刷机械、光学机械 |
ULVAC隔膜型干泵能在上述领域广泛应用,主要得益于以下几项核心技术特点:
真正的无油清洁真空:泵腔内部不使用油或液体进行润滑和密封,能提供洁净的真空环境,从根本上避免了油蒸气对工艺过程、产品、实验样品或环境造成污染的风险。这对于半导体、制药、分析仪器等要求高的领域至关重要。
结构紧凑与易于维护:采用隔膜的往复运动进行排气,结构简单。这种设计使得泵体体积小、重量轻(例如DAP系列是ULVAC产品中最小型的膜片泵),节省空间,并且维护工作相对简单。
多样的型号与针对性设计:ULVAC提供丰富的型号以满足不同需求。
标准型:例如DA系列和DAT系列,提供单段式(如DA-60S)和双段式(如DA-30D, DAT-50D)等不同排气速度和极限压力的选择。
耐腐蚀型:例如DTC系列,所有接触气体的部件采用PTFE(聚四氟乙烯)与FPM(氟橡胶)等高耐腐蚀性材料,能够安全地抽除腐蚀性气体或有机溶剂蒸气,适用于化学实验室、特定医疗及制药工艺等环境。
良好的综合性能:隔膜型干泵通常还具有运行噪音低、功耗较低以及振动小等特点,有助于改善工作环境。
希望以上关于ULVAC爱发科隔膜型干泵应用领域和技术特点的介绍能对您有所帮助。如果您能分享更具体的应用场景或工艺要求(例如需要处理的气体类型、所需的真空度等),或许我能提供更具针对性的信息。