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日本ORC紫外线照度计:精密测量光固化与曝光工艺的关键技术

更新时间:2025-09-20点击次数:171

在光固化、半导体制造和印刷电路板曝光等精密工业领域,对紫外线强度的精确测量与控制直接关系到产品质量与工艺稳定性。日本ORC(Oak Ridge Corporation)作为紫外线测量技术领域的企业,其生产的紫外线照度计和能量计为行业提供了精准可靠的测量解决方案。

在光固化、半导体制造和印刷电路板曝光等精密工业领域,对紫外线强度的精确测量与控制直接关系到产品质量与工艺稳定性。日本ORC(Oak Ridge Corporation)作为紫外线测量技术领域的企业,其生产的紫外线照度计和能量计为行业提供了精准可靠的测量解决方案。

本文将深入探讨ORC紫外线测量仪器的技术特点、工作原理及其在不同工业场景中的应用。

1. ORC紫外线照度计的核心技术特点

ORC紫外线照度计集成了多项精密测量技术,能够满足各种苛刻工业环境下的测量需求。

高精度测量能力:ORC照度计具备高的测量精度和重复性。例如UV-351型号的对准精度在自身紫外线标准的±1.5%范围内,重复性也达到±1.5%以内。这种精度确保了工艺过程的高度一致性。

多波长支持与传感器兼容性:ORC提供了多种传感器型号,覆盖不同波长范围:

  • UV-25型:敏感波长241-271nm,峰值254nm

  • UV-35型:敏感波长310-385nm(或320-390nm),峰值350nm或360nm

  • UV-42型:敏感波长330-490nm,峰值420nm

智能功能与数据输出:新型号如UV-M03A配备了自动量程功能,可以轻松测量紫外线照度和光强度。多数ORC照度计还配备了RS-232C通信接口,可将测量数据传输到PC进行进一步分析和记录。部分型号还具有自动关机功能、设定记忆功能和自动开机功能。

坚固设计与便携性:ORC照度计采用坚固的金属机身设计,具有高耐热性,工作温度范围通常为0-50℃或0-60℃。同时,它们大多采用小型轻量化设计,如UV-M03A主机尺寸仅为71(W)×151(D)×29(H)mm,重量160克,便于现场使用和携带。

2. ORC紫外线照度计的工作原理

ORC紫外线照度计基于光电转换原理工作,其核心组件是光敏二极管传感器。当紫外线照射到传感器时,会产生与光强成正比的电信号。仪器内部电路对这个信号进行放大和处理,计算出照度值(mW/cm²)和累计光量值(mJ/cm²)。

传感器前端的光学滤镜确保只有特定波段的紫外线能够到达传感器,从而保证测量的准确性和特异性。仪器内部的微处理器负责信号处理、单位转换和显示控制,并通过接口实现数据输出和设备控制。

3. 主要型号及其技术参数

ORC提供了多种型号的紫外线照度计,以满足不同应用场景的需求。以下是几款主要型号的技术特点:


UV-M03AUV-351UV-M06UV-M10-P
测量照度范围0.001-50mW/cm²0.1-100.0mW/cm²0.000-100.0mW/cm²多种光强度设置
测量光量范围0.001-19999mJ/cm²1-19999mJ/cm²0.1-19999mJ/cm²照度与时间测量
峰值灵敏度350nm360nm170nm可配多种接收器
特殊功能自动量程,RS-232C输出一体式设计,温度测量准分子光线测量控制信号输出,定时功能
应用领域通用UV测量光固化,印刷机械准分子光源监测UV照射设备控制

4. 应用领域

ORC紫外线照度计在多个工业领域发挥着关键作用:

半导体和液晶制造:在这些领域,ORC照度计用于监控曝光设备的光强,确保光刻工艺的精确性和一致性。SD型传感器(如UV-SD25、UV-SD35、UV-SD42)专门为这些应用设计,确保与现有测量设备的数据兼容性。

电子电路板制造:在印刷电路板(PCB)制造过程中,ORC照度计用于管理曝光工艺。对此类应用,推荐使用SN型传感器(如UV-SN25、UV-SN35、UV-SN42)。

紫外线固化工艺:ORC紫外线照度计广泛应用于各种UV固化过程,如印刷、涂料和粘合剂固化。UV-351型号特别适用于印刷机械上的光固化应用,确保印刷及干燥过程达到理想的质量控制。

杀菌消毒应用:用于测量紫外线杀菌设备的照射强度与剂量,确保杀菌效果。

学术与研究:在各种需要精确测量紫外线强度和能量的科学研究中发挥作用。

5. 选型与使用建议

选择合适的ORC紫外线照度计时,需要考虑以下因素:

波长匹配:根据您的应用场景选择中心波长匹配的探头。用365nm的探头去测254nm的光源,得到的将是错误的数据。

传感器类型选择:对于半导体和液晶基板制造过程,推荐使用SD型传感器;对于电子电路板制造过程,则推荐使用SN型传感器。

测量范围:根据待测光源的强度选择合适的测量范围。如果强度未知,建议选择具有自动量程功能的型号。

环境条件:考虑工作环境的温度、湿度等因素,确保所选型号能在该环境下稳定工作。

使用ORC紫外线照度计时,还需注意以下事项:

  • 定期校准:为保证测量精度,建议定期将整套设备送至或认可的计量机构进行校准

  • 避免过热:虽然探头设计用于耐受一定高温,但仍需注意探头标称的温度上限

  • 保持清洁:探头前部的滤镜窗口需保持清洁,避免污渍、指纹影响透光性和测量结果

  • 正确解读数据:理解照度(mW/cm²,强度) 和累计光量(mJ/cm²,能量/剂量) 的区别

6. 结论

日本ORC紫外线照度计凭借其高精度测量能力多波长支持坚固便携的设计以及智能化的功能,成为光固化、半导体制造和电子电路板生产等领域中的测量工具。

通过选择合适的型号并正确使用,企业能够有效监控和控制紫外线工艺过程,提高产品质量和生产效率。随着紫外线技术的不断发展,ORC也在持续创新其产品线,如2025年新推出的UV-M10-P型号,配备了控制信号输出功能,进一步拓展了紫外线测量的应用范围


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