ULVAC爱发科多级罗茨型干泵CR60B的工作原理是什么

ULVAC爱发科的多级罗茨型干泵CR60B（包括CR60B-S和CR60B-T型号）以其干式运行和多级罗茨结构为核心特点，通过在泵腔内进行多级压缩来实现真空获取。它采用了空冷设计，并且排气室内不使用真空油

💡 处理可凝性蒸汽（如水蒸气）：CR60B可选配气镇机构（BALLEST机构）。该功能允许向泵的压缩区注入少量干燥气体（如空气或氮气），旨在提高气体混合物的非可凝成分比例，从而降低蒸汽的分压，使其在达到饱和前被排出。但这会轻微增加极限压力。因此，在需要处理大量水蒸气的应用（如真空干燥）中，强烈建议启用气镇功能。

🧰 CR60B系列的主要技术与特点

• 干式无油运行：泵腔内部不使用任何润滑油或密封液，避免了油气污染、油气反应，同时可以避免气体中的水分、氧气和杂质对泵的腐蚀，确保了泵的高可靠性和长寿命。

• 多级罗茨结构：CR60B采用了多级叶轮，这种结构可以大大提高泵速和抽气效率，并且使泵能够直接从大气压开始抽气，并达到较高的极限真空度（CR60B-S极限压力≤3.0 Pa，CR60B-T极限压力≤0.5 Pa）。

• 空冷式设计：无需额外的冷却水和氮气连接，减少了配套设施的需求，有助于降低运行成本和简化安装。

• DC密封电机：安装了DC密封电机实现节能、气密和减重。

• 非接触式运行：转子和汽缸是以非接触方式运行的，这可以长时间稳定运行。

🌐 主要应用领域
得益于其清洁、无油的特性，CR60B系列干泵非常适合以下领域：

• 空气、惰性气体等洁净气体的真空排气。

• 真空干燥等水蒸气的排出（此应用时需要启用气镇机构）。

• 溅射，蒸发等真空设备。

💎 总结
ULVAC爱发科CR60B多级罗茨型干泵通过多级罗茨结构实现气体的逐级压缩，其干式无油和空冷设计使其能提供清洁的真空环境，并有效降低运行成本。可选配的气镇功能则增强了其处理可凝性蒸汽（如水蒸气）的能力。