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ACCRETECH(东京精密)的半自动划片机在多个需要高精度切割的领域都有着广泛应用。它主要通过在晶圆或其他脆性材料上进行精准的切割,将它们分割成独立的芯片或单元。
以下是它的一些主要应用领域:
应用领域 | 典型场景与价值 |
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半导体集成电路制造 | 将完成前端工艺的晶圆切割成单个芯片(Die),用于CPU、存储器、各种集成电路和传感器等芯片的封装前道工序。 |
光电子器件与通信 | 加工光纤耦合器、光隔离器、环形器、光衰减器等器件的基板。对铌酸锂、钽酸锂等磁光材料实现无应力切割,避免晶体结构损伤,保障器件单向传输性能。 |
先进封装 | 如QFN/DFN封装、Fan-Out(扇出型封装)、Chiplet(小芯片)、2.5D/3D集成等需要晶圆级切割的工艺。 |
微电子机械系统(MEMS) | 切割敏感的MEMS传感器(如加速度计、陀螺仪、压力传感器)晶圆,这些器件通常结构脆弱,对切割的精度和应力控制要求。 |
LED与显示器件制造 | 切割LED晶圆(如Mini-LED、Micro-LED)、OLED显示面板等。 |
陶瓷、玻璃与硬脆材料加工 | 切割氧化铝、氮化铝等陶瓷基板(广泛应用于功率器件散热和电子封装)、石英玻璃、硅玻璃、蓝宝石玻璃(用于光学窗口、盖板等)以及其他工业用硬脆材料薄片。 |
🧰 选型与使用注意事项
选择和使用半自动划片机时,有几个关键点需要考虑:
物料特性:不同的材料(如硅、GaAs、玻璃、陶瓷)其硬度和脆性不同,需要匹配不同材质和粒度的刀片,以及调整切割参数(转速、进给速度)。
精度要求:根据芯片尺寸和切割道宽度,选择能满足精度(如±1μm以内)和崩边控制要求的机型。
产能与自动化:"半自动"意味着在上下料、对位等环节需要人工操作,适合小批量、多品种的研发或生产场景。如果追求大批量生产的效率,则需要考虑全自动机型。
冷却与清洁:切割过程中通常需要去离子水进行冷却和冲洗,以防止热损伤并清除碎屑,保持切割质量。
操作人员培训:半自动设备需要操作人员具备一定的经验,能够进行对刀、设定参数和日常维护。
💎 总结
ACCRETECH东京精密的半自动划片机是半导体、光电子、先进封装等领域中的精密加工设备。它特别适合那些对精度要求高、但产能需求尚未达到全自动化水平的研发中心、试产线或特殊工艺生产线。