ULVAC 爱发科隔膜型干泵是一种利用隔膜往复运动来实现排气的真空泵。其核心部件为偏心轴（转子），通过旋转将动力经连杆传递至隔膜。隔膜的反复上下运动使泵腔内的体积周期性变化，从而将气体从进气口吸入、压缩并通过排气口排出，实现真空环境的建立。这种结构确保了气体始终沿同一方向输送，且整个过程无需使用油或液体介质，避免了油蒸气污染，保证了清洁排气

隔膜型干泵采用无油运行机制，消除了油污染问题，为需要高清洁度的工艺提供了理想的真空环境。同时，其结构简单，维护需求低，日常仅需简单检查和定期更换隔膜等易损件，大幅降低了维护成本和设备停机时间

ULVAC 爱发科提供丰富的产品线，涵盖单级和双级隔膜泵，如 DAP-12S、DA-60S、DAT-100S 等单级泵，以及 DAP-6D、DA-30D、DAT-50D 等双级泵。不同型号在有效排气速度、极限压力等方面表现各异，用户可根据具体应用需求灵活选择。例如，DAP-12S 在 50Hz 下的有效排气速度为 6-12L/min，而 DA-60S 则可达 60L/min，极限压力低至 21.3×10³ Pa（-80.0kPa）

对于特殊应用场景，ULVAC 推出了耐腐蚀型（如 DTC 系列）和高真空型（如 DAU 系列）隔膜泵。耐腐蚀型泵与气体接触的部件采用高耐腐蚀材料，如 PTFE 和 FPM，可安全处理腐蚀性气体和有机溶剂。高真空型则通过串联泵室提高压缩比，极限压力更低，例如 DTU-20 型极限压力可达 10Pa 以下，满足高真空需求

隔膜型干泵体积小巧、重量轻，便于集成到各类设备中。以 DAP-18S-DC24 为例，其重量仅为 1.75kg，尺寸为 83.5mm（宽）×165mm（长）×123.8mm（高），且能耗低，使用 DC24V 电源时功率仅 14W，适合对空间和能耗有严格要求的应用场景

内置自动复位型热保护器等安全设计，如 DTU-20 型隔膜泵，在过载或异常情况下能有效保护设备，防止损坏。此外，ULVAC 爱发科隔膜型干泵在设计和制造过程中严格遵循相关标准，确保产品在各种工况下的稳定性和可靠性

凭借上述优势，ULVAC 爱发科隔膜型干泵广泛应用于半导体、电子设备制造、医疗、印刷、光学、包装等行业，可用于真空排气、真空浓缩、过滤、脱气消泡、真空吸盘、薄膜吸附等多种工艺过程，为现代工业生产提供了高效、可靠的真空解决方案