山本镀金 YAMAMOTO 晶圆双面电镀设备 A-52-STD：高效双面电镀解决方案
一、工作原理
山本镀金 YAMAMOTO 晶圆双面电镀设备 A-52-STD 是一种先进的电镀设备，专为晶圆的双面同时电镀设计。设备采用的桨式搅拌器，通过搅拌晶圆的两面，确保电镀溶液均匀分布，实现高效的双面电镀。其工作原理基于电化学反应，在电镀槽中，晶圆作为阴极，与阳极支架配合，通过电镀电源提供稳定的电流，促进金属离子在晶圆表面沉积。同时，设备配备加热器和气泵，可精确控制电镀过程中的温度和溶液流动，确保电镀质量。
二、技术参数
型号：A-52-STD
适用样品尺寸：直径 2 至 8 英寸或 50 至 200 毫米见方的方形样品
电镀方式：双面同时电镀
搅拌方式：单桨式搅拌器
加热器：AC100V，功率可选 100W、300W 或 500W
电源：晶圆精密电镀电源（YPP15031WA/15100WA）
气泵：适用于 M202/10L 水箱
过滤器：迷你迷你过滤器（20APFA/40APFA）
标配附件：晶圆双面电镀槽、双面电镀用阴极盒（标准型/密封型/吸力封闭型）、阳极支架、加热器、电源、气泵、桨式搅拌器、过滤器、引线、空气过滤器等
三、产品特点
高效双面电镀：设备采用单桨式搅拌器，能够同时对晶圆的两个表面进行电镀，显著提高电镀效率，减少加工时间。
高精度控制：配备高精度的电镀电源和温度控制系统，能够精确调节电镀电流和溶液温度，确保电镀层的均匀性和厚度一致性。
多样化样品适应性：适用于直径 2 至 8 英寸的圆形晶圆以及 50 至 200 毫米见方的方形样品，满足不同尺寸和形状的电镀需求。
灵活的定制选项：可根据客户的具体需求定制夹具和电镀槽的形状，提供个性化的解决方案。
符合国际标准：设备设计符合 CE 标志要求，确保安全性和可靠性
环保设计：使用带温度保险丝的加热器，增强保护功能，减少能耗
四、应用场景
山本镀金 YAMAMOTO 晶圆双面电镀设备广泛应用于半导体、MEMS、SiC、玻璃、GaAs、InP 等材料的精密电镀。在半导体制造中，用于 TSV（硅通孔）和 TSG（通孔玻璃）等先进封装技术的电镀工艺。此外，设备还可用于科研实验和工业生产中的各种电镀需求，如金属沉积、表面处理和材料改性等
五、总结
山本镀金 YAMAMOTO 晶圆双面电镀设备 A-52-STD 凭借其高效双面电镀能力、高精度控制和灵活的定制选项，为晶圆电镀提供了一种理想解决方案。其广泛的应用领域和的性能使其成为半导体制造和科研实验中的重要设备
热线电话：173-7597-1654
山本镀金 YAMAMOTO 晶圆双面电镀的工作原理和产品特性
更新时间：2025-05-29
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